폭발성 가스의 폭발한계와 압력의 상관관계 | 2019.08.26 | ||
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작성자 : 이재원 | |||
안녕하세요. 반도체 관련 사업장에 근무중인 이재원이라고 합니다. 반도체 관련 장비사에서 사양을 담당하고 있습니다만 장비 안정성 관점에서 폭발성가스인 수소의 폭발한계치와 압력의 상관관계 관련 문의드립니다. 수소(H2)의 특성으로 폭발하한계(LEL)과 폭발상한계(UEL)은 4~76%로 MSDS상에도 표기되어 있습니다만 실제 상압(ATM)에서 운용시에는 희석용 N2를 혼합하여 운용중에 있습니다. 질문하고자 내용은 하기와 같습니다. - 수소의 폭발하한계와 상한계 4~76%가 운용압력에 따라 변화하는지요? (예를들어 대기압에서는 상기와 같은 폭발한계치로 명시되어 있으나 저압(2Torr)에서 수소를 사용할시에는 폭발한계치의 범위가 변화하는지 궁금합니다.) 바쁘신 중에 번거롭게 해드려 죄송하지만 상기 질문에 대해 확인을 부탁드립니다. 즐거운 하루 되세요~! 이 재 원 배상 |
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